高精度微小振动的测量具有重要的现实意义,如地震和海啸的早期预测预报,极其微小的引力波探测等。而随着现代工程技术的飞速发展,特别是航空、航天、海洋工程、机械制造等技术的发展,低频微小振动的测量也愈发显示出其重要性。本课题将光干涉测量技术、虚拟仪器技术、计算机技术及数字信号处理技术结合为一体,从简单化、实用化、高精度、高灵敏度的角度出发,构建了以计算机为硬件核心,以虚拟软件平台为软件核心的低频微小振动激光干涉测量系统。基于相位载波调制(PGC)原理和虚拟仪器技术,建立了激光振动测量信号解调的软硬件处理平台,以PCI6221多功能数据采集卡作为硬件电路的核心,实现参考波形的发生与待测信号的实时采集,利用LabVIEW软件平台构建了数字PGC软件算法,实现振动信号的实时解调。实验结果表明,基于虚拟仪器技术的PGC信号解调方法,降低了传统模拟PGC技术中模拟乘法器、微分器等硬件电路的漂移和噪声,提高了信号解调精度,改善了系统信噪比,实现了对频率范围10-200Hz低频振动信号的高精度实时测量,其分辨率优于0.5nm,动态范围100dB。