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电共轭流体微型泵采用特殊的电共轭流体作为工作液体,是基于电共轭效应,可无需机械运动机构直接将电能转化为流体动能的新型流体机械,具有结构简单紧凑,能量转化效率高,功率密度大,无噪声等诸多优点。具有数百微米特征尺寸的射流发生器是微型泵内发生电共轭效应,形成电共轭流体射流的核心部件,内置高度500um、深宽比超过2.5的三角柱-缝隙形电极对(阵列),运用蒸镀、UV-LIGA技术等MEMS制造工艺一体化制作完成。针对射流发生器的制作缺陷、三角柱-缝隙形电极对阵列的尺寸设计、微型泵小流量输出时存在压降等微型泵