频率源是现代电子系统的重要组成部分，在通信、雷达和导航等设备中有着广泛的应用，很多现代电子设备和系统的功能实现依赖于所用频率源的性能，所以高性能频率源的设计是现代通信技术中一个很重要的研究方向。随着毫米波技术的发展，人们对毫米波频率源的要求越来越高，无论在毫米波通信还是毫米波雷达等应用领域都必须有高质量、稳定度可靠的毫米波频率源。本文对94GHz的集成锁相源进行了研究，采用了一种基于直接式频率合成和PLL合成产生94GHz的点频源方案。相位噪声低是本课题的特点。主要工作分为以下几个组成部分：首先概述了频率合成技术国内外研究现状，指出了本课题研究的内容与意义；其次介绍了频率合成技术的基本理论；接着介绍了94GHz低相噪锁相源的总体设计方案和各部分的具体实现；最后是对电路进行调试和测量，给出了系统测试结果：在94GHz，相位噪声优于-88.9dB/Hz@10KHz；在100MHz范围内杂散抑制为-44.4dBc，接近了指标。