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针对高端制造装备对大行程、高精度直线运动机构的广泛需求,研究集宏微运动于一体的新型直线压电电机,提出交流宏驱动和直流微驱动两种工作模式,即利用纳/微米级的微运动补偿宏运动由于精度不足造成的误差,实现高精度、大行程、高频响的精确定位控制。由于驱动控制系统性能好坏直接影响着压电电机的性能,为此,本文针对集宏微一体的直线压电电机,建立相适应的电源驱动系统。文章介绍了压电直线电机的运行机理,及现有的驱动方案,并根据压电直线电机对驱动电源性能的要求,提出可控硅整流+DC-DC半桥变换器两级级联的电压控制,以获