本文就沉积工艺的特点对竖式沉积炉的结构选型进行了研究，比较了中频加热和电阻加热两种加热方式的加热原理和炉型特点，确定电阻加热是竖式沉积炉合适的加热方式，结合沉积炉的作业特点，分析了炉衬选材的特殊要求。就当前沉积炉电热丝频繁烧断的现象，运用电热体单位表面功率理论，对其电热体单位表面功率进行了测算和分析，结合其具体的安装形式，确定原因在于电热丝的单位表面功率设计余量不足，加之电热丝遮蔽系数较大，以及电热丝引出端的焊接形式不当。根据新的工艺要求，重新选用了电热体材质，对电热体进行了改进设计。 文章研究了当前沉积炉平行搁丝槽的特点。针对平行搁丝槽的缺点以及它造成的温度场不均匀性，本文发明了螺旋形电热体搁置槽，较好地解决了上述问题，并运用流体力学商业软件fluent对沉积炉改进设计前后两种搁丝槽形式的炉膛温度场，进行了仿真计算，对仿真结果进行了对比分析。研究表明，螺旋形搁丝槽的炉膛温场均匀性明显优于平行搁丝槽的炉膛。