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随着科学技术的不断进步,光学系统朝着大口径方向不断发展,这使得大口径光学元件面形误差的检测成为首要解决的任务。子孔径拼接技术是使用小口径、高分辨率的干涉仪检测大口径光学元件面形。随着该技术的不断发展和完善,对自动化程度提出了更高的要求。本论文设计了一种子孔径扫描定位系统,保持被测件不动,通过移动干涉仪来进行子孔径图像采集。本系统的设计分为机械系统的设计和软件程序的编写两个部分。机械部分的设计主要通过研究运动控制系统各组成部分及其工作原理,分析比对其性能,结合项目提出的要求,确定需要购买的伺服