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在精密和超精密加工技术研究和发展的过程中,精密和超精密机床起了决定性的作用,然而当超精密机床在低速、重载的条件下工作时,出现的爬行等现象会造成超精密机床的低速不稳定运动,使得导轨运动不均匀,降低其定位精度和灵敏度,致使加工精度和加工工件表面质量下降。同时,摩擦磨损每年也造成大量的机床失效。在研究中发现降低摩擦副之间的动摩擦系数是减小爬行现象的负面影响的重要手段之一,而在摩擦副中加入超声振动,则是降低摩擦系数的极为有效的措施,这必将对解决超精密机床低速稳定性问题和减小摩擦磨损问题产生重要影响。所以本课