空中通信节点技术是现代信息战、多军种联合作战中重要的支撑技术之一。一个国家在该技术领域是否占有先进地位,直接影响着这个国家国防实力的强弱。目前,在保证空中通信节点系统性能先进性的基础上,实现系统的轻型化、小型化是各国非常关注的技术之一。集成电路技术可以将一个电子系统做到很小,并且性能优越。但是传统的IC技术,很难将滤波器、移相器、天线等无源模块与有源模块集成在一个硅片上。20世纪90年代发展起来的微电子机械系统(Micro Electro Mechanical System),为空中通信节点系统的轻型化、小型化提供了强有力的保证。MEMS技术是将常规IC工艺和微机械加工独有的工艺相结合,在生物技术、医疗卫生、空间技术、无线通讯等方面有着巨大的经济与军事价值。MEMS技术在无线通讯、微波技术上的应用受到国际上的广泛重视,目前已经成为MEMS研究的重要方向。借助MEMS技术开发的传输线、开关、继电器、电感电容、滤波器、移相器、天线等微波通信元件,具有性能好、体积小、重量轻、成本低等优点,成为国际学者研究的热点。本论文来源于“十一五”军事预研项目“轻型XXXX节点技术”,主要负责基于MEMS的C波段全向波束赋形天线子系统的研究。研究内容为保证天线系统性能先进性的基础上,实现整个系统的小型化和轻型化。本文从国内外的研究现状出发,在详细对比微带天线经典理论的基础上,深入分析了硅基微带天线的特殊性,对在硅基底上制作天线无法逾越的难题-高损耗-进行了深入的研究,并在借鉴了射频COMS电路经验的基础上,提出了降低各种损耗的有效方法,使硅基微带天线性能参数达到常规基底微带天线的水平,为后续研究提供了有益的参考依据。文中建立在经典理论的基础上,借助现代计算机技术,编制了相应的计算机程序,对微带天线设计参数经行初步计算。并在商用高频有限元软件Ansoft HFSS系统中对天线进行了精确仿真及对比。并对硅基微带天线的MEMS加工工艺进行了探索。在多次实验室实测结果的基础上,应用现代天线阵列综合理论,设计了硅基MEMS C波段全向波束赋形天线。