束流流强分布测量是束流诊断系统的重要组成部分,在诸多实验中(例如材料辐照和离子注入等),人们不仅需要知道束流的位置信息,而且还迫切地需要获得束流流强的空间分布。目前大多数测量束流流强分布的探测器给出的都是流强的一维投影分布,并非束流密度的空间分布信息。鉴于此局限性,我们研制了扫描式128通道法拉第筒阵列束流轮廓探测器,该探测器能够逐点给出X-Y平面上束流流强的二维空间分布以及束流轮廓。该探测器基于法拉第筒探测带电离子束流的原理研制而成,采用已有的多通道弱电流测量系统和数据获取系统。探测器灵敏区为内径1mm、孔深5mm的4排32列法拉第筒错位阵列,可在伺服电机驱动下上下移动对束流进行扫描探测,能够非常准地给出束流的位置信息和流强分布信息。探测器的束流准直孔为0.6mm,在75mm*75mm区域内像素个数可达16384个。目前,此探测器主要用于超低能重离子实验平台和320kV高电荷态综合研究平台的束流调试和诊断。本论文的重点工作是128通道法拉第筒阵列探头的设计加工、数据采集程序的编写以及探测器的测试。探头的设计包括机械设计、PCB板设计、制图加工以及探头的组装。数据采集程序包括伺服电机运动控制程序的编写、数据处理程序的编写以及调试。