蓝宝石材料由于其本身固有的特性,如高硬度、抗腐蚀、抗辐射能力等优点,已成为移动智能终端窗口材料发展的必然趋势。但是由于其较低的透过率和较差的润湿性能,也限制了其应用的发展。目前主要应用的二氧化硅（SiO₂）是作为蓝宝石增透的首选材料;但是由于其与蓝宝石之间由于热膨胀系数的不同,制备时将导致其与蓝宝石之间存在较大的热失配现象,这就使得薄膜在应用时容易脱落。本文以HfO₂薄膜为中间缓冲层,制备HfO₂/SiO₂双层增透膜系统,以改善薄膜结合力较差的问题;同时在另一面制备蓝宝石亚波长结构,以改善其表面润湿性能,并提高其可见光波段的透过率。Essential Macleod的软件计算结果表明,HfO₂/Si O₂双层膜系可以用来提高蓝宝石在可见光波段的透过率且薄膜的折射率变化对蓝宝石的透过效果会有一定的影响。同时采用Rsoft CAD软件模拟计算亚波长结构的透过率,并确定亚波长结构的最佳结构参数（占位比,深度,周期）。磁控溅射制备SiO₂/HfO₂增透膜的试验表明,中间层HfO₂的加入能明显提高薄膜与基底之间的结合力,并且随着HfO₂薄膜厚度的增加薄膜的附着力先增加后减小,当增透膜SiO₂/HfO₂厚度为86/126 nm时,测得其临界载荷为7.6 mN,透过率为91.3%,较蓝宝石本身（85.7%）相对提高了6.5%。以阳极氧化铝为掩膜,并采用电感耦合等离子刻蚀（ICP）的方法刻蚀铝膜,扫描电子显微技术（SEM）的测试表明,在刻蚀气压为3 mTorr、刻蚀功率100 W、刻蚀气体（Cl2与Ar）的比值为1:1时,所获得的图形刻蚀效果较好。在此基础上,最后采用固相外延的方法,使其高温氧化转变成蓝宝石亚波长结构。可见光谱和润湿角的测试结果表明,蓝宝石双面增透结构能有效地提高蓝宝石在可见光波段的透过率,使得其透过率达到93.5%,较蓝宝石本身（85.7%）相对提高了9.1%,同时表面亚波长结构能有效地改善蓝宝石本身的润湿性能,（润湿角由60.9°提高至125.4°）,进而在移动智能终端触摸屏领域有较好的应用优势。