目前MEMS器件已经在很多领域都有广泛的应用,与其他产业相比,其产量却十分有限,而造成这种商业化瓶颈的主要原因是技术供应商在MEMS器件的可制造性、可测试性、可靠性等方面的解决方案能力不足。鉴于MEMS器件的门类、品种繁多、所用的敏感材料各异以及MEMS制造技术的多样性和复杂性,本论文则主要针对两种典型的MEMS器件(RF MEMS开关与电容式MEMS压力传感器)进行相关的研究,为MEMS器件更进一步的发展提供技术的积累。电容式RF MEMS开关的商业化一直受阻于可靠性问题:开关电介质的充电效应引起开关致动部件的粘连现象。本文中,为了研究开关电介质的充放电机制,我们建立一个新的基于金属-绝缘体-半导体(MIS)结构的理论模型。在不影响开关性能的前提下,主要从以下这两方面来研究减少开关电介质的的电荷积累:(1)减少电荷的注入;(2)提高电荷在电介质中的复合速度。实验中,采用三个实验方案来减少电介质中的电荷积累:①设计电压致动波形以中和注入电介质中的正负电荷;②通过对电介质层掺杂创造电荷复合中心,加速注入电荷的弛豫过程;③制备复合介质薄膜,创造界面电荷复合机制,加速注入电荷的消逝。期望该研究工作能为提高电容式RF MEMS开关的可靠性提供理论支撑和技术积累。同样的,MEMS器件的研究进展也离不开其工程测试技术的提高。近年来,随着MEMS技术的迅速发展,从客观上要求测试仪器向自动化、智能化方向发展。本论文提出一套基于虚拟仪器、数据采集卡和图形化编程语言LabVIEW的MEMS压力传感器测试系统的构建方案。其工作原理为:以计算机为控制中心,通过设定恒温的测试环境,采用数据采集卡对信号进行动态采集,最后利用LabVIEW工具包数据处理模块进行数据的处理、显示以及报表打印,从而最终达到自动测量传感器的目的。该系统可实现信号的采集、处理和发送,解决了复杂的现场连线,并且具有成本低、实用性强、移植性好等优点。本文对这两种典型的MEMS器件进行相关的研究,并且取得了一定的进展,然而挑战依然存在,MEMS的发展需要人们更多的科学研究和技术积累。