立方氮化硼/纳米金刚石多层复合涂层制备及机械性能研究

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随着科学技术的快速发展,钛合金、高温合金等难加工材料越来越多地应用于现代工业,难加工材料的切削加工对刀具性能提出了更高的要求。立方氮化硼(Cubic Boron Nitride,c BN)具有高的硬度和热导率,化学性质稳定,非常适合作为刀具涂层材料。采用纳米金刚石(Nanocrystalline Diamond,NCD)过渡层可以制备出高纯度的c BN涂层,但是依然存在着内应力大、厚度薄以及韧性低等问题,限制了其优异耐磨性能的充分发挥,严重制约着c BN涂层的应用。针对c BN涂层面临的问题,本文提出了c BN/NCD多层复合结构涂层,研究了c BN/NCD多层复合涂层的制备工艺,分析了c BN/NCD多层复合涂层的机械性能,揭示了c BN/NCD多层复合涂层的增韧机理和磨损机理,为c BN涂层的应用奠定基础。本文主要研究内容和成果如下:(1)采用Ar辅助方法在低CH4浓度条件下制备低生长速率的NCD涂层。系统分析了CH4/H2,CH4/H2/Ar和CH4/H2/N2三种气氛条件下CH4、Ar和N2浓度对金刚石晶粒尺寸、生长速率和表面自由能的影响规律,三种气氛条件下均可以获得致密的NCD涂层,随着CH4和N2浓度的增加,涂层表面粗糙度和表面自由能逐渐减小,生长速率显著增加。但是在CH4/H2/Ar气氛中,涂层的生长速率随Ar浓度的增加先增后减,在高浓度Ar离子的轰击作用下可以降低NCD涂层的生长速率,同时增加其表面自由能。最后在高Ar浓度下开展薄厚度NCD涂层的制备,并通过Ar离子轰击的方法进一步提高NCD涂层的表面自由能,获得适合c BN生长的最佳NCD涂层制备工艺。(2)系统研究了沉积温度、基底偏压和氮气分压对c BN涂层的纯度、残余应力、表面形貌以及生长速率的影响规律,分析了不同工艺参数对c BN涂层生长的影响机理。在兼顾c BN涂层纯度和生长速率的条件下,在温度900°C、偏压-150V、氮气分压30%时制备出纯度接近80%的c BN涂层,生长速率约0.1μm/h,硬度和弹性模量分别为37GPa和421GPa,具有良好的纳米力学性能。(3)构建了c BN/NCD多层复合涂层-基底系统压痕作用下涂层开裂的有限元模型,分析了涂层在载荷作用下的应力分布和裂纹特性。结果显示,随着多层复合涂层中层数的增加,涂层中的最大主应力逐渐较小,剪应力逐渐增加,涂层中最大主应力和剪应力的位置均不随层数的增加而发生变化。c BN/NCD多层复合涂层中的裂纹主要萌生于涂层上表面和压痕正下方NCD涂层中,同时增加多层复合涂层的层数,可以有效抑制裂纹的扩展;c BN/NCD多层复合涂层的界面裂纹萌生于涂层与基底的结合界面处并沿界面向两端扩展,界面的主要失效形式为涂层的屈曲脱落。(4)采用改变调制结构的方法降低c BN/NCD多层复合涂层的残余应力,同时提高涂层的断裂韧度。在涂层总厚度3μm的条件下,通过优化调制结构,涂层中残余应力低至0.43GPa,断裂韧度增至4.98MPa?m1/2,较单层c BN涂层断裂韧度提高70%以上,揭示了c BN/NCD多层复合涂层的主要增韧机理,界面处裂纹发生偏折、NCD涂层引起裂纹尖端钝化以及减小涂层中缺陷的产生和累积是实现c BN/NCD多层复合涂层增韧的主要原因。(5)研究了c BN/NCD多层复合涂层的摩擦磨损性能,揭示了c BN/NCD多层复合涂层高温磨损机理。常温下c BN/NCD多层复合涂层的摩擦系数和磨损速率分别为0.12和1.19×10-6mm~3/(N?m),随着温度的升高,摩擦系数逐渐减小,磨损速率逐渐增加,在600°C条件下,磨损速率约为8.43×10-6mm~3/(N?m),耐磨性能分别是Ti Al N涂层和Pc BN刀具材料的3倍和4.5倍;c BN/NCD多层复合涂层高温条件下的主要磨损失效形式为磨粒磨损和NCD石墨化。
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