LED照明作为目前最流行的绿色光源倍受全民关注。LED主原材料是固态半导体,因而对制备半导体薄膜材料的MOCVD设备的研制是目前形势所需。MOCVD原位监测系统是MOCVD设备中的一个重要组成部分,对外延工程师掌握外延片生长状况和调整工艺起到指导作用,对薄膜生长的工艺创新意义深远。本文针对MOCVD原位监系统中信号采集部分,选择嵌入式控制芯片DSP C2000系列为CPU,对原位监测信号进行多通道同步采样,把采集到的信号通过数字信号处理后经以太网通信方式传到上位机监测软件供外延工程师分析。该设计把数字信号处理过程放在了上位机前,很大程度上减少了原始信号数据流的传输量,减轻上位机的负荷。论文阐述了原位监测仪信号产生原理和提取信号的处理方法,设计信号源的调理电路,对输出信号执行放大、滤波操作,并设计了旋转电机同步信号的电压转换电路;然后,对DSP的最小系统、A/D转换芯片AD7656和以太网芯片W5300的外围电路设计做了详细的讲解;在软件设计方面,利用DSP集成软件平台CCS V4.2,运用C语言编写DSP主程序和功能程序代码,其中包括DSP与AD7656和DSP与W5300之间的控制逻辑设计,基于XINTF的DMA无CPU干预的数据传输程序,时域同步平均算法和中值滤波原理,W5300的驱动代码和网络数据传输程序设计;最后,利用Delphi XE7对上位机网口通信控件和功能面板的设计。论文最后对以太网数据通信功能和信号采集功能进行调试和验证。结果表明,各个模块功能正常工作,采集系统能以250k Hz速率同步采集6路原位监测源信号,系统联调结果显示满足设计要求并得到外延工程师的认可