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近年来，无线通信技术发展迅猛，特别是第五代移动通信技术的发展如火如荼。射频器件是无线通信系统的基础性部件之一，在无线通信中扮演着重要的角色。射频器件的技术指标将直接影响通信系统的整体性能和可靠性，精确测定器件参数是通信系统设计、评价和应用的基础。S参数是射频器件最重要、最基础的参数，因此对射频功放、滤波器、分路器、射频前端等射频器件的性能评价，S参数测试是不可或缺的。 本文针对频率范围为100 MHz~12.5 GHz的非同轴射频器件研制了测试夹具、夹具校准件和校准软件，并实现了对非同轴射频器件S参数的精确测量。首先在分析了经典射频微波传输线理论、矢量网络分析仪基本结构与工作原理的基础上，重点研究了S参数的误差模型和误差消除（去嵌入校准）方法，分析了SOLT(Short-Open-Load-Thru)与 TRL(Thru-Reflect-Line)两种校准算法的特点和适用范围，提出了一种采用SOLT与 TRL协同校准的新方法。然后利用ADS以及HFSS等电磁仿真软件，对测试夹具和对应的校准件进行仿真设计、参数优化，并完成了测试夹具和校准件的研制。通过对SOLT以及TRL校准算法的推导，利用两种算法实现了测试夹具的参数校准。 同时，编写了自动校准软件，利用可视化界面实现对矢量网络分析仪的自动数据采集以及数据校准。通过研制的校准件和自动校准软件，对部分非同轴射频器件进行参数对比测试验证。实现了从射频器件测试夹具、夹具校准件设计、研制，到校准算法、自动校准软件设计、编写的全过程。经实验验证和对比，研制的射频器件测试夹具、校准件和校准软件的性能指标、重复性和稳定性均达到了预期目标，可直接用于非同轴射频器件的参数测试。所研究的射频器件测试方法以及研制的射频器件测试夹具在射频器件的设计、测试领域有着重要的应用前景。