【摘 要】
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光刻技术是制造和加工微机电系统和微光机电系统过程中的核心。其中，数字灰度光刻技术因其能生产连续浮雕面型和无需昂贵的常规掩模且工作效率高等优点而成为微纳加工的重要发展方向之一。微机电系统中三维面浮雕轮廓的微纳器件的加工技术与传统半导体技术追求光学曝光的极限分辨率不同，其追求的是另一个极端，即厚胶曝光技术。这就对光刻技术中的光刻物镜的焦深提出更高的要求。而且由于光学系统的自身限制，在保持曝光波长不变的
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光刻技术是制造和加工微机电系统和微光机电系统过程中的核心。其中，数字灰度光刻技术因其能生产连续浮雕面型和无需昂贵的常规掩模且工作效率高等优点而成为微纳加工的重要发展方向之一。微机电系统中三维面浮雕轮廓的微纳器件的加工技术与传统半导体技术追求光学曝光的极限分辨率不同，其追求的是另一个极端，即厚胶曝光技术。这就对光刻技术中的光刻物镜的焦深提出更高的要求。而且由于光学系统的自身限制，在保持曝光波长不变的情况下，减小光刻特征线宽的同时，系统的焦深也在减小。因此，有必要设计一种同时具有高分辨率和大焦深
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轴流风机动叶安装角调整漂移是导致电站非计划停机的主要故障之一。动叶可调轴流风机运行过程中，因动叶安装角调整异常导致风机出力不足或喘振的现象时有发生，严重地影响了其运行效率。针对动叶调整异常这一现状，本文采用数值模拟方法，开展了动叶可调轴流风机动叶异常时风机内流、噪声特征和运行特性及其机理研究。针对异常动叶异常情形，通过考虑异常叶片数目、叶片偏转方向和偏离程度等因素，获得了不同异常情形下径向截面上的
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活门组件综合试验器（以下简称试验器）是专门为检测飞机活门组件和独立活门的性能指标而开发的一种新型试验设备，针对试验器的基本技术要求，给出了该试验器液压控制系统原理图、电气控制系统硬件组成框图及软件系统的工作流程图，并着重就开发中所遇到的重点、难点进行了较详细的介绍，同时验证的设计方案的正确性。本文主要进行了如下一些研究工作：（1）阐述了该综合试验器的主要功用，简要说明了试验器在国内外的发展现状并分
刮板输送机是煤矿、化学矿山、金属矿山及电厂等用来输送物料的重要运输工具，是关键的综采设备之一。它的作用包括：煤炭的运输，悬挂工作面设备的电缆、水管，它还是液压支架的推移支点，采煤机的运行轨道等。所以，它是否能够可靠并稳定和高效地运行将对矿井的生产效益和煤矿企业的经济利益产生直接而重大的影响。本文针对目前国内外对刮板输送机刮板链张力控制各种方法的局限性，结合井下煤矿的特殊环境以及刮板输送机本身的技术
由于综合孔径微波辐射计实际的硬件系统复杂性高，直接对实物系统进行准确分析比较困难。利用现代计算机系统建立一个针对综合孔径辐射计的系统仿真平台，在此平台上进行系统误差分析、算法验证等理论研究和验证，能够降低硬件系统的开发风险，缩减算法周期。但是系统仿真数据量巨大，耗时长的问题制约着综合孔径微波微波辐射计系统仿真的发展，GPU作为一种高速计算的工具，利用其强大的计算能力和并行处理能力来提升仿真系统的仿
粘度是液态物质的重要物理属性，更是评价各种油品性能的一个重要的指标。粘度测量是保证安全生产、控制生产流程、科学研究和评定产品质量的重要手段。粘度测量的精度及各种粘度计量工具的精度量传，都需要一套精密的检定装置来保障。自20世纪90年代来，石油分析仪器在我国得到迅猛发展，但目前大量使用的粘度计检定装置仍需手动操作，目视读数、掐表计时，自动化程度不高且检定误差较大。本文通过对现有粘度检定技术现状的研究
在钢板生产过程中，钢板宽度的检测是重要的质量指标，直接影响到成材率。目前对钢板宽度的检测主要采用人工测量的方法，这种方法既浪费人力、时间，又达不到高精度的测量，造成成品率不高、浪费严重的现象。为了实现对轧钢宽度的实时检测，降低手工检测强度，提高轧钢的成品率，本文采用光电检测的方法实现对轧钢宽度进行实时精确测量。整个系统以CPLD芯片为核心控制器，用VHDL语言编程产生驱动CCD工作的脉冲信号，使C
靶式流量计广泛应用于工业流量测量，尤其适用于高粘度、低雷诺数流体流量的测量。但靶式流量计在实际应用中，在脉动流、混合流以及其他流体流动不稳定的工况下，其常常无法反映流体流量的实际状况。另外，在流体流速相对较大时，靶式流量计往往会出现靶杆共振等问题，使其无法正常工作。从实质上说，这些问题的根源都在于靶式流量计不具有良好的动态特性，使靶式流量计在流体流动变化比较大的场合，其输出无法复现输入信号的变化规
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