随着高端精密装备制造业的发展,对高端精密装备的精度水平要求越来越高,对校准高端精密装备的测量仪器的精度提出了更高的要求。坐标测量机作为现代化自动测量复杂形状零件的主要测量设备,对其高精度校准成为关键技术问题,这就对作为校准仪器的激光追踪测量系统的测量精度提出了更高的要求。本课题“激光追踪干涉测量信号处理方法研究”的目的就是基于现有的激光追踪测量机械结构基础上,设计一套激光追踪干涉测量信号处理系统,实现对激光追踪测量系统在追踪过程中产生的干涉信号进行采集处理。本课题主要围绕激光追踪测量系统的干涉测量信号处理进行研究,具体内容如下:(1)分析了激光干涉测距原理和追踪控制原理。提出了基于ARM和FPGA的激光追踪干涉测量信号处理方法;(2)设计了激光追踪干涉测量信号处理系统的硬件电路,包括FPGA信号接收处理模块、ARM接收模块以及网口通讯模块,完成了干涉信号的接收、辨向四细分与计数、存储等功能。(3)设计了激光追踪干涉测量信号处理系统的上位机软件,实现了目标靶镜移动位移的测量。本文对课题研究的若干关键技术进行了实验验证,主要包括:(1)对激光追踪测量系统伺服电机进行稳定性实验;(2)实验测试了激光追踪干涉测量信号处理系统的网络通讯功能的正确性和可行性;(3)实验测试了激光追踪干涉测量信号处理系统的稳定性;(4)实验测试了激光追踪干涉测量信号处理电路的可行性。