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柔性薄膜太阳电池由于质轻、高功率重量比、可弯曲及可卷对卷大面积生产等独特优势得以应用到空间电源、光伏建筑一体化等领域,应用前景广阔。Cu_2ZnSn(S,Se)_4(CZTSSe)薄膜作为Cu(In,Ga)Se_2(CIGS)薄膜的潜在替代材料具有成本更低廉,不含有稀缺元素In的主要优势,已有研究表明p型半导体CZTSSe的禁带宽度可调,为1.0-1.5 eV,光吸收系数大于10~4 cm~(-1),非常适合做太阳电池光吸收层材料,因此柔性CZTSSe薄膜太阳电池近年来备受关注。本文采用磁控溅射加后