【摘 要】
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文章对用化学气相沉积法制备多晶ZnSe的热动力学原理、设备、工艺进行了系统的分析研究.沉积动力学方面结合Spear的六步沉积理论对ZnSe沉积过程进行了论述,从理论上分析了沉
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文章对用化学气相沉积法制备多晶ZnSe的热动力学原理、设备、工艺进行了系统的分析研究.沉积动力学方面结合Spear的六步沉积理论对ZnSe沉积过程进行了论述,从理论上分析了沉积条件对沉积速率、均匀性及质量的影响.设备方面重点讨论了水冷喷咀、过滤系统、有毒尾气处理系统的设计以及衬底材料的选择等关键技术.工艺方面主要研究了沉积参数(温度、压力)、沉积室气体流形对生长均匀性和生长速率的影响;同时对生长过程中出现的球状生长、粉末以及拱起现象进行了分析,提出了解决方案.最后还对制备的ZnSe样品的光学性能进行了分析.论文的最后在对实验样品进行光学透过率分析的基础上与理论值进行了对比,证实通过上述方法制备的CVDZnSe达到了CVD工艺高致密度、高均匀性以及高纯度的特点.
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