ICF激光驱动器等其它高功率固体激光器中的波前畸变对光束的传输、放大过程及聚焦性质有重要影响，对畸变波前的检测是高功率激光系统工程中的重要课题，也是校正波前畸变，改善光束质量的基础。本论文研究了在ICF系统中，哈特曼传感器的波前重建算法及数据处理软件的设计，成功开发出了一套与哈特曼波前传感器配套的数据处理软件，并已应用于高功率激光系统的光束质量检测中。本论文主要研究内容和创新结果如下： 一、分析了ICF高功率激光系统中存在的波前畸变的产生原因及影响。讨论了波前检测的意义及各种波前检测手段的特点。 二、阐述了哈特曼-夏克波前传感方法原理，建立了一套完整地衔接从微透镜阵列衍射到光斑数据处理的模拟程序，结合本文中开发的波前数据处理软件的要求，通过模拟计算分析了在区域重建算法中采样子孔径数目变化和光斑接收面偏离微透镜焦平面等因素对重建精度的影响。 三、通过模拟计算验证了圆形波前模式重建算法的准确性，并且搭建了以以哈特曼传感器为核心的实验测量系统，把对标准元件的测量结果与在WYGO干涉仪上的测量结果进行比较，从实验上验证了圆形波前模式重建算法的准确性。 四、针对ICF系统中需要处理的方形区域上的波前，分析了一种使用类Zernike多项式进行的方形波前模式重建算法，通过模拟计算研究验证了其准确性。并且把这种算法应用于实际测量过程，通过对这种算法的直接重建结果与区域法重建结果进行比较，验证了其准确性。