Au/Cu、Ag/Cu及Cu/Au体系异质外延生长的分子动力学研究

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【摘要】

：

异质外延生长是薄膜生长中的重要研究课题,从原子水平上认识异质薄膜生长的物理本质,对于改进制备工艺和提高薄膜质量都有着重要的指导作用。本文通过分子动力学方法,采用EAM原子间相互作用势分别对Au/Cu(001)、Au/Cu(111)、Ag/Cu(001)、Ag/Cu(111)、Cu/Au(001)和Cu/Au(111)异质外延生长进行了模拟,分析了异质外延岛形貌的演化、局域压力分布以及外延岛与基体之

【作者】

：

孟旸

【机构】

：

大连理工大学

【发表日期】

：

2005年06期

【关键词】

：

异质外延表面形貌局域压力分子动力学模拟

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