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该论文的主要工和集中于对硅片的腐蚀抛光特性研究,多孔硅制备的前端工作——制备工艺研究以及基于多孔硅基础上的多孔硅光子晶体的制备方法、形貌特性的初步研究.该论文的主要工作如下:一、对于硅基衬底的单面抛光特性研究.二、利用多孔硅制备两维光子晶体的初步研究.三、准三维光子晶体结构.四、超声电化学阳极腐蚀法制备多孔硅材料.