集成电路ESD失效机理和ESD防护电路研究

来源 :西安电子科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zg29
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
随着集成电路的发展,芯片采用先进的工艺,性能越来越好。然而这些先进的工艺对芯片的静电放电(ESD)的承受能力削弱,同时人们对于芯片ESD的防护要求不但没有降低,反而越来越高,这使得ESD防护电路更加不容易设计。国内ESD防护的研究相对落后于国际先进水平,特别是国产的集成电路芯片,ESD已经使芯片的成品率和可靠性大大降低,因此对芯片ESD的研究意义非常重大。本文针对国产JSR26C32X-S型抗辐射四路差分接收器芯片,通过对芯片的测试和失效分析对其进行ESD评估。主要研究内容包括对JSR26C32X-S型芯片进行三种静电放电模型(HBM、MM和CDM)的测试,然后对其ESD失效机理分析,并对三种放电模型下抗ESD性能差异对比和改进设计。首先设计三种放电模型的测试方案,并测得JSR26C32X-S型芯片在人体模型(HBM)静电放电测试下的失效阈值为5000V,在机器模型(MM)静电放电测试下的失效阈值为200V,在器件充电模型(CDM)静电放电测试下的失效阈值为3000V。对三种失效进行了对比,并进行失效原因分析,发现HBM和MM模型下芯片的差分输入管脚最容易失效,失效的具体原因是连接ESD防护二极管的多晶硅互连线被击穿。为了提高该款芯片对HBM和MM静电放电的承受能力,对芯片差分输入管脚的ESD防护提出改进的保护电路(使用更高效的GGNMOS或SCR防护结构)及改进措施。从测试结果还可以发现JSR26C32X-S型芯片的CDM静电放电防护能力非常高,分析其原因,发现是输出缓冲级电路中面积非常大的NMOS和PMOS管在ESD事件发生时泄放了大量ESD电流。综上所述,本文对国产JSR26C32X-S型抗辐射四路差分接收器芯片的ESD防护进行了研究,通过一系列测试和失效分析,找出其最容易失效的地方,并提出了改进的ESD防护结构。将其应用于该芯片,甚至应用于工业和军事领域的其它同类型芯片,将大大提高芯片的成品率以及其可靠性。
其他文献
目的 采用肺炎支原体(MP)分离培养-药敏法初步探讨住院成人社区获得性肺炎(CAP)中MP的耐药状况,为临床抗菌药物选择提供依据.方法 选取住院的成人CAP患者2859例,取咽拭子标本培养
<正>选修班组建:99位学生自愿报名组成,均来自本校高二年级的12个班。一、案例内容概括1.教学目标本专题对学生而言会给他们带来一种全新的学习感受,在《普通高中语文课程标
会议
广东梅州市被誉为“世界客都”、“文化之乡”,其百年老校的数量多达130多所,涵盖大、中、小学。梅州百年老校的形成与地理区域环境、世族教育传统背景、政治生态环境具有一定
2012年2月29日,由《首席财务宫》杂志主办的“转折时期的精益财务-2012 TOP CFO国际财务管理峰会”在上海紫金山大酒店成功举行。这次论坛邀请了多位跨国公司CFO作为发言嘉宾,共
以微绿球藻(Nannochloropsis oculata)和牟氏角毛藻(Chaetoceros muelleri)为受试生物,检验不同浓度的底泥浸出液和悬浮液对其叶绿素a含量的影响试验,探讨长江口底泥污染物析
随着工业技术和现代科技的发展,聚酯纤维材料的改性和产业应用日益受到人们的关注,并且成为纺织新产品开发的一个重要方向。综述了近年来聚酯纤维等离子体处理、碱处理、胺处
创新教育作为新工科人才环节的重要组成部分,必须贯彻以人为本的教育理念,协调好创新意识、创新思维、创新技能和创新人格教育要求,实现个人兴趣与社会需要、课堂教育与实践
很多人对超硬材料的原始记忆甚至还停留在划玻璃的玻璃刀上,而事实上,超硬材料应用之广泛早已经深入到生产生活的方方面面。人造金刚石作为一种超硬材料已经有很多年的历史。
Although exercise-induced ST segment depression is thought to be a reliabi&#232;marker of myocerdinl ischemia in most patients,the diagnostic accuracy ofST segm
<正> 随着社会主义市场经济的建立,医院要在市场竞争中立于不败之地,实践使我们认识到必须把医疗质量放在首位,才能取得良好的社会效益和经济效益,促进事业的发展。 一、确定