【摘 要】
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摘要氮化铝(AlN)陶瓷具有优良的综合性能,是大规模集成电路、半导体模块电路和大功率器件的理想散热材料和封装材料.但AlN难以烧结,在很大程度上限制了AlN的应用.放电等离子
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摘要氮化铝(AlN)陶瓷具有优良的综合性能,是大规模集成电路、半导体模块电路和大功率器件的理想散热材料和封装材料.但AlN难以烧结,在很大程度上限制了AlN的应用.放电等离子烧结(SPS)是一种新颖的具有独特技术优势的烧结技术,在促进AlN烧结致密化和降低制备成本方面具有很大的发展潜力.本文对纯AlN、Y<,2>O<,3>-AlN、Sm<,2>O<,3>-AlN粉体进行了SPS烧结,重点分析了SPS烧结AlN的过程与致密化机理,探讨了试样组成、结构与热导率之间的关系.对SPS中的温度场分布进行了分析,研究了其中的电流分布、温度分布及热量流动,推断出压头为最主要的热量输入部位,并通过实验过程中的监测进行了证实.对于试样内部,可能存在等离子体与脉冲电磁场效应.这两种现象都可以促进扩散,加速添加剂与AlN颗粒表面的Al<,2>O<,3>之间的固相反应,从而降低烧结温度,促进烧结.
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