溅射法PST薄膜的诱导取向制备及介电性能研究

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铁电材料具有优良的介电、压电、铁电、热释电及介电非线性等特性,其极化强度可随外加电场呈非线性变化的性质可用于制备微波可调元器件,如相控阵天线上的移相器、振荡器、滤波器、延迟线等,应用前景十分乐观。就研究体系而言,目前主要集中在钙钛矿相铁电材料,如钛酸锶钡(BST)系列。最近Cross等发现钛酸锶铅(Pb, Sr)TiO_3(PST)陶瓷具有较高可调性和相当低的介电损耗,是一种非常适用于电场调节元件的材料。与BST相比,特别作为薄膜材料,PST的铁电临界尺寸较小,具有单一相变点,晶化温度较低,能更好的
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