【摘 要】
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光的偏振测量在光学测量中有着很重要的地位,在很多生产加工和科学研究领域有着广泛的应用,对光的偏振特性进行高精度测量在实际应用中具有重要的研究价值并具有一定的工程意
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光的偏振测量在光学测量中有着很重要的地位,在很多生产加工和科学研究领域有着广泛的应用,对光的偏振特性进行高精度测量在实际应用中具有重要的研究价值并具有一定的工程意义。本文首先介绍光的偏振原理和偏振态的数学描述方法。以及基于液晶可变延迟法的偏振测量原理。紧接着根据此测量原理系统地介绍了智能偏振测量系统的组成,其中有关前置放大和A/D转换的匹配、A/D与主控单片机的串行数据传输等关键技术都进行了详细的论述。上位机的设计上使用了Labview为软件平台方便的进行了系统的数字信号处理,和测量的显示、数据记录。论文最后展示了一个具体实际应用,将偏振测量系统应用于薄膜测厚,并设计了虚拟的偏振测厚系统软件。
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