物联网快速发展的时代,柔性电子技术逐渐成为大众的热门方向,对信息采集的深度及广度的要求也越来越高。研究探索具有规模化、成本低的柔性可穿戴电子产品,也成为了面向新兴时代需要解决的难点。柔性压力传感器是实现柔性可穿戴电子产品的重要组成部分,与传统硬式传感器相比,柔性压力传感器具有更好的柔性、相容性等特点,可以有效准确地输出信号,被广泛应用在可穿戴电子产品、生物健康医疗、机器人等领域。从性能上,制备灵敏度、可重复性等综合指标良好,同时简化制备工艺,降低成本的柔性压力传感器是进一步研究方向的重点。针对这些问题,本文主要内容为:从提升传感器的灵敏度性能方向,设计圆锥体和棱锥体两种新型微结构。通过仿真,在相同压力作用下对比分析两种微结构产生的形变量,选取较优的棱锥体结构加入到制备压力传感器的实验中。以导电银浆为电极材料;同时为了提高材料的介电常数,选取聚氨酯和炭黑的复合材料为介质层,并在中间层加入微结构;将传感器的结构设计为4×4的“三明治”电极阵列,并组建信号采集模块。对传感器性能测试,在允许误差范围内,压力传感器在压力作用下,电阻值随着压力的增大而减小,最大灵敏度为-11.363N-1。以碳纳米管为电极材料,聚二甲基硅氧烷为介电层,在电极层中加入微结构;基于丝网印刷工艺制备过程中考虑网目数对材料的影响,对不同网目数印刷效果对比,选用最优的200目网版;电极设计为5×5阵列点,采用垂直交叉结构完成封装。测试数据表明,此传感器灵敏度最高达到8.9N-1,且可重复性能良好,经过多次弯曲之后,仍具有良好的性能,稳定性良好。从传感器性能测试结果分析,相较于无微结构和其它柱型结构,压力传感器的灵敏度、稳定性、可重复性能等都有一定程度的提升。