【摘 要】
：
近年来,由于对电子器件进行微纳加工技术的不断进步,对微纳结构元件的加工精度要求也日益增加,目前的测量手段都还不能达到对微纳结构元件的测量要求,主要存在着以下几点不足处:（1）目前大多数方法都通过逐点或逐层测量的方法进行三维成像,因此三维测量的速度慢,特别是检测表面高度跨度大的样本时;（2）显微测量方法视场较小,无法满足工业大样本的测量要求;（3）分辨率、成像效率及测量范围无法兼顾的问题。针对现有三
【基金项目】
：
国家自然科学基金项目“并行差动共焦跨多尺度纳米精度表面形貌检测关键技术研究”（项目编号:51775200）；
论文部分内容阅读
近年来,由于对电子器件进行微纳加工技术的不断进步,对微纳结构元件的加工精度要求也日益增加,目前的测量手段都还不能达到对微纳结构元件的测量要求,主要存在着以下几点不足处:（1）目前大多数方法都通过逐点或逐层测量的方法进行三维成像,因此三维测量的速度慢,特别是检测表面高度跨度大的样本时;（2）显微测量方法视场较小,无法满足工业大样本的测量要求;（3）分辨率、成像效率及测量范围无法兼顾的问题。针对现有三维显微成像方法横向和轴向分辨率不能兼顾,三维形貌还原的空间分辨率、时间分辨率有限等局限,本文提出一种点阵共焦式结构光照明模式和像方差动共聚焦方法结合的差动多焦点结构照明显微成像（DAF-SIM）高时空分辨三维形貌还原方法。本课题的主要研究内容如下:首先,对超分辨结构光照明显微成像（SIM）和光切片SIM理论进行了分析,并在此基础上对多焦点结构照明显微超分辨成像方法和光切片差动测量理论进行了公式推导及仿真,提出差动多焦点结构照明显微成像（DAF-SIM）非轴向扫描3D显微方法,并通过数字模拟验证了差动多焦点结构照明显微成像（DAF-SIM）的可行性,并实验测试了系统最高横向分辨率为
[email protected],超过了衍射极限。其次,根据DAF-SIM原理搭建一套实验平台,并对该系统在不同物镜倍率下的轴向测量范围、轴向响应曲线、及轴向可分辨最小步距进行了标定,最大测量范围为100μm@4×,最高轴向可分辨步距为10nm@100×。对不同样本进行了测试,表面DAF-SIM能够满足不同样本的测量要求,实现了3次/秒的三维成像效率。之后,对所搭建的DAF-SIM系统存在的非均匀光照明误差进行了分析,并提出了对数差动的误差补偿方法,以此来消除非均匀光照明误差对测量结果的影响。最后,根据DAF-SIM系统中大视场的应用需求,提出了子孔径扫描视场拼接过程中的自动聚焦和视场快速拼接算法,实现了尺寸为16cm×16cm面积样品的快速、亚微米精度高分辨三维显微成像。经测量,单次离焦量检测效率为0.042s,64个视场的总拼接成像时间为95.5s。
其他文献
订单数据管理是企业信息化的基础工作。在某搅拌装备企业中,现有的智能制造管理系统、PLM、ERP等软件聚焦于对信息、数据的管理、分析与应用,对于实践中订单数据的创建、核对等过程,由于工厂中实际生产的特殊性和灵活性,现有软件无此类功能,无法处理。使用人工操作工作量大、易出错、效率低。为满足工作中对软件功能的需求,本文基于VBA编程的方法,设计、开发一种适用于某企业搅拌装备订单数据管理的软件。针对该企业
伴随着认知神经科学、人因工程学等学科的蓬勃发展,基于用户体验层面的相关研究已经逐渐成为设计学领域中的研究热点之一。眼动追踪（Eye-Tracking）技术、脑电（EEG,electroencephalogram）技术、生理多导技术等生理数据测量技术也已经被广泛应用于相应的用户体验研究场景中。其中脑电技术因其优秀的时间分辨率以及毫秒级的神经活动表征能力,尤为适用于用户大脑认知层面的相关研究。本研究选
经济和科技的发展导致交通工具碰撞事故频发,严重威胁人们生命财产安全,运用防护结构可以有效降低财产损失和人员损伤。薄壁结构因轻质、吸能高效等优势在结构防护领域被普遍采用。因此,本文基于雪花构型,提出一种新的仿雪花生长过程的薄壁结构设计方法,重点研究了新型仿雪花薄壁结构（SBT结构）的抗冲击性能,主要内容如下:（1）SBT结构的轴向抗冲击性能研究。采用试验、数值仿真和理论推测的方法研究了SBT结构的抗
金刚石因其超高硬度、高热导率及大禁带宽度等特性,在刀具、光电等很多领域都有着不可替代的作用。尤其是在光电领域的应用要求金刚石表面光滑且亚表面无损伤。而天然金刚石和人造金刚石在生产过程中很难控制其表面粗糙度,因此,需要对金刚石衬底进行加工以制备符合要求的高质量金刚石衬底。现有的金刚石加工过程存在精度差、效率低的缺点制约了其应用的进一步发展。最近发展起来的采用纯金属与金刚石反应摩擦生成碳化物,而后通过
博弈空间G到自身的一个映射Φ被称为是合作博弈的一个解,给定任意的一个博弈v∈G,Φ（v）就决定了一种分配方案.在合作博弈理论的研究中,一个关键性的挑战就是寻找各种具有实际意义的解,而线性对称解又具有特殊的重要性,例如,Shapley值.据我们所知,在过去的研究中,人们侧重于研究关注个人收益的解.更精确而言,研究的解需要满足可加性公理,即一个联盟的收益等于该联盟中每个成员的收益的和.然而,对侧重关注
＜正＞H10N8亚型是最新感染人类的禽流感病毒。近期在《自然》杂志发表的一项研究显示,虽然这种病毒能够感染人类细胞,但它对于禽类受体的结合能力比对人类的要强150倍,即和禽类细胞的结合及对禽类细胞的感染都有更高的偏好。因此,现在不认为H10N8亚型禽流感病毒可以在人与人之间传播。为了研究新型H10N8亚型禽流感病毒适应人类的潜力,英国伦敦国家医学研究所医学研究委员会
美国族群政治理论家Horowitz,D在他的经典著作《冲突中的族群》中曾提到,在民主选举过程中,同一个族群的选民在大选中倾向投票给同族群的政党。按照Horowitz的说法,马来西亚华裔族群占22.4%、所以马来西亚华人政党最少应该可以得到2成的选票,在国会中可以占有2成的议会席次。但是目前代表华人的马来西亚华人公会在2018年的大选中仅有1席。那么,影响马来西亚华人在大选中的投票因素到底是什么,为
为了应对全球气候变化与能源危机等问题,我国确立的“双碳”目标为工程机械产业结构升级指明了方向。各国日趋严格的排放要求与近年来快速发展的三电技术,使得纯电驱动技术以其零排放、低噪声以及高效率等优点逐渐成为工程机械的理想驱动解决方案之一。与电动汽车相比,装载机在非结构路面上作业与行驶时振动剧烈、稳定性差,对动力系统要求作业时扭矩范围大与转场时转速范围宽,需要频繁切换挡位来保证动力需求。而电动汽车领域的
CVD单晶金刚石因具有良好的理化性质而在功率器件中得到了广泛的应用,然而单晶金刚石极高的硬度和极佳的化学稳定性使得金刚石的抛光十分困难,阻碍了金刚石在半导体领域中的应用。为了提高单晶金刚石的抛光质量和抛光效率,本文采用第一性原理筛选用于机械化学抛光CVD单晶金刚石的反应磨料,并使用实验对计算结果加以验证。最后探究反应条件对反应的影响。本文首先构建金刚石与金属氧化物反应的模型,并为仿真计算选择合适的
随着先进制造业的发展,很多领域都要求直线位移测量具有较高的精度、较大的量程、良好的鲁棒性、充分的安装灵活性,具有这些需求的典型应用包括:超大尺寸晶圆的制造、航空叶片的检测、光学镜片的加工、高档数控机床的定位和校准、三坐标测量机的开发等。虽然现有的位移传感器（激光干涉仪、光栅、磁栅等）在特定的领域均具有一定的优势,但它们并不能同时满足上述的测量需求,所以本文借助视觉测量中远距离、高分辨率、模块化的特