低温共烧陶瓷LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic)技术是多芯片组件(MCM)技术的核心之一。LTCC技术以其优异的射频性能,成为目前高速高密度三维集成技术研究发展的热点,在各类雷达通信系统中得到广泛的应用。LTCC多层电路结构要求实现信号的层间互连,互连的效果制约着电路系统的整体性能,是LTCC电路系统设计中的关键。本文重点研究LTCC中传输线之间的层间垂直通孔互连结构,并对其进行建模。首先对LTCC中微带线、带状线和共面波导三种传输线的损耗及传播特性进行分析,从损耗的角度提出改善LTCC电路设计的方案。并根据电磁波传播的奇偶禁戒原理,深入细致分析了三种传输线至垂直通孔处的模式转换问题,结合LTCC标准工艺规范,建立了微带线至带状线、微带线到共面波导、带状线至带状线、带状线到共面波导、共面波导到共面波导的六种层间垂直通孔互连结构在微波频段的通用模型,并加工测试,验证了模型的可行性。同时本文将多维柯西近似法引入到三层共面波导的层间垂直通孔互连的建模中,通过线性规划求解多维柯西函数的系数,建立了柯西模型,完善了LTCC无源电路模型库。