小波变换在超精密加工机床振动中的研究是当今国内外比较公认的难题。为了解决超精密加工机床在工作过程中产生的振动问题,现今已研究出几种测量方法。从发展的情况来看,大体上都是从简单的测量方法发展到当前精密的测量方法。本文通过针对超精密加工机床振动信号分析的需要,首先研究了超精密加工机床振动理论、小波理论和光纤传感器理论,在此基础上研究小波分析在超精密加工机床振动信号的应用。本论文重点研究以下几个方面：首先,通过对超精密加工机床产生的振动进行全面的分析与研究,最终得出超精密加工机床振动信号的分析和奇异性监测必须通过小波变换来分析。其次,为了使振动信号能够提取出来,本文必须研究光纤振动传感器,并且通过此传感器提取振动信号,对此阐述了光纤传感器的理论基础和设计理念。第三,通过对信号的仿真测量,对光纤振动传感器采集到的振动信号进行分析,并且通过小波分析理论来完成,具有很好的效果。由于上述研究结果,可以得出如下结论：基于小波分析的超精密加工机床振动分析原理是正确的,可行的。本课题集中了三方面的优点,通过小波包预处理后,能更有利于故障源信号的分离,同时可以突出细节部分信号,有利于深入分析。是诊断超精加工机床振动的一种有效方法,；有利于提高超精加工机床故障检测的准确性。对超精密加工技术的研究和发展,尤为迫切和重要。