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CuAlO_2(CAO)p型透明导电薄膜是1997年Kawazoe等人基于价带化学修饰(CMVB)理论,首次制备出的铜铁矿结构p型直接带隙透明氧化物薄膜。它的成功开发为实现半导体全透明光电器件,如透明二极管、透明晶体管提供了可能性,也推动了传统意义上透明导电氧化物(TCO)薄膜到透明氧化物半导体(TOS)薄膜的发展。CuAlO_2已经成为当前透明导电薄膜领域的研究热点之一。本文采用Cu靶和Al靶直流共溅射法制备出p型透明导电Cu-Al-O薄膜,用原子力显微镜(AFM)、X射线衍射(XRD)