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绒面技术是制造高效太阳电池的关键技术之一。有效的绒面结构可以提高短路电流,有助于提高太阳能电池性能。本文首先详细研究了硅片在HF/HNO3/H2O体系中的腐蚀规律。通过改变腐蚀液配比、温度和时间,研究了腐蚀速率、硅片反射率以及电池输出参量的变化规律。实验发现,腐蚀速率随着HF/HNO3/H2O体系中HF含量的增加而先增大后减小,随着温度升高而增大。在反射率方面,HF: HNO3 = 3:1时硅片反射率最低,但经过PECVD镀减反射膜后相对于其他腐蚀条件制备的硅片,优势略有减少。电池输出参