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HIT太阳电池以高效率,低成本和快速制备工艺引起国内外的广泛关注。目前HIT太阳电池的领跑者日本三洋公司己将实用尺寸双面的HIT太阳电池效率提高到23%。HIT太阳电池的性能主要由本征层、窗口层和透明电极决定。本工作通过对这三层的结构和光电特性的研究分析,优化其制备条件,达到增加光吸收和提高载流子的分离与传输的目的,提高实验室水平单面HIT太阳电池的性能。采用PECVD法制备作为电池窗口层和本征层的非晶硅薄膜；磁控溅射法制备透明电极；利用少子寿命较高的n型晶体硅作为基底。第一、研