Mo膜上金刚石膜生长特性研究

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【摘要】

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该文对Mo膜上金刚石膜的生长特性作了较系统的研究.主要工作包括:采用热灯丝化学气相沉积方法,以甲烷和氢气为原料气体,在Si衬底上制备出具有各种结晶与生长特性的金刚石膜.

【作者】

：

曹培江

【机构】

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吉林大学

【出处】

：

吉林大学

【发表日期】

：

1998年期

【关键词】

：

Mo膜金刚石膜生长特性

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该文对Mo膜上金刚石膜的生长特性作了较系统的研究.主要工作包括:采用热灯丝化学气相沉积方法,以甲烷和氢气为原料气体,在Si衬底上制备出具有各种结晶与生长特性的金刚石膜.对溅射于镜面单晶Si上的Mo膜和溅射于镜面抛光金刚石厚膜上的Mo膜的某些性质进行了分析,并且对这两种Mo膜上金刚石膜的生长特性进行了研究.

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