论文部分内容阅读
随着微电子技术渗透到机械工程的各个领域和机电一体化的发展,微电子机械系统(MEMS),已成为人们在微观领域认识和改造客观世界的一项高新技术。但是,当尺寸缩小至一定范围时,许多物理现象同宏观世界相比有很大差别,尤其是在摩擦力上体现的尤为突出。长期以来,人们一直沿用以实验研究为基础的综合分析方法研究宏观摩擦学现象,并发现了许多规律,提出了很多作用模型,但都难以深入了解摩擦学现象的机理。随着物体尺寸的减小和对摩擦的深入研究,各类实验都表明经典的Amontons公式:F =μN的结论显然不符合微观摩擦规律。