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基于反铁电薄膜的双稳态MEMS面内驱动器集成技术研究

来源 :北方工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zxypost

【作 者】

：

雷洪 

【出 处】

：

北方工业大学

【发表日期】

：

2016年01期

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