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射频磁控溅射AZTO薄膜晶体管器件制备及性能研究

来源 :吉林建筑大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：toponeforever

【作 者】

：

左欢欢 

【出 处】

：

吉林建筑大学

【发表日期】

：

2021年01期

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