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HiPIMS/Pulsed DC复合磁控溅射CrAl（Si）N涂层的研究

来源 :天津职业技术师范大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：digitalmachinel

【作 者】

：

李柏松 

【出 处】

：

天津职业技术师范大学

【发表日期】

：

2018年03期

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