透明导电铟锡氧化物(ITO)薄膜以其优越的光电性能而广泛应用于液晶显示器、太阳能电池、加热窗等设备当中。　　本文使用金属铟和四氯化锡为原料采用溶胶-凝胶法制备出了ITO前驱物浆料,通过浸渍提拉技术及热处理使铟锡氧化物(ITO)薄膜涂敷在玻璃衬底上,并对前驱物浆料的分散性、ITO薄膜的结构以及光、电性能进行了研究。　　通过分析,浆料颗粒尺寸在20~40nm之间,具有很好的分散性和稳定性,XRD检测ITO薄膜的晶型表明,薄膜是一种单一的立方In2O3晶体结构,只存在 In2O3的单相结构,并且随着热处理温度的增加,晶型结构发育越完全。涂敷衬底的实验证明石英玻璃能够承受较高的热处理温度,石英玻璃上镀得的ITO薄膜方电阻较低。薄膜的方电阻通过四探针电阻仪测量表明,薄膜的方电阻与烧结温度成反比。在800℃时,薄膜具有低的方电阻,方电阻仅为119Ω/□。薄膜的光透过率通过用波长范围300~800nm的紫外分光仪测量,检测结果表明薄膜的光透过率与涂敷层数成反比,与烧结温度成反比:相同烧结温度下,涂敷7层光透过率为86％,而3层为94%;相同涂敷层数下,800℃时,光透过率为84%。而750℃时能达到96%。本实验测量的ITO薄膜均有较高的透过率(大于85%)。