论文部分内容阅读
静电驱动微机电系统(Micro-Electro-Mechanical-Systems,简写为MEMS)器件具有重量轻、体积小、响应快、耗能低等优点,在太空探索、智能控制、生物医学等领域得到广泛的应用。由于静电驱动器件几何尺寸的微小化,其力学性能与宏观状态下的器件相比存在着较大的差异。目前微尺度实验已经验证了特征尺寸大小小于微米量级时微器件的力学特性含有明显的尺寸效应现象。但是,由于经典的连续介质力学理论中不含有与尺寸效应现象相关的材料本征尺寸参数,因而不能解释上述微构件所表现出来的尺寸效应现象,而高