FBAR微加速度计设计

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【摘要】

：

FBAR微加速度计是微惯性技术与RF MEMS技术交叉的新型电声谐振式微加速度计,可望满足对微加速度计性能、可靠性和可制造性的综合要求。本文旨在解决FBAR微加速度计的4个关键基础问题:力敏机理、结构设计、温度补偿和集成制造工艺,为FBAR微加速度计的开发奠定坚实的理论基础。针对目前对FBAR力敏机理认识的不足,从具有纤锌矿结构的Al N压电薄膜弹性常数-应力特性的第一性原理计算入手,分析应力致F

【作者】

：

何婉婧

【机构】

：

西南科技大学

【发表日期】

：

2015年04期

【关键词】

：

微加速度计薄膜体声波谐振器力敏机理表头结构温度补偿

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