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铜锌锡硫(Cu2ZnSnS4,简称CZTS)薄膜吸收系数高,禁带宽度为1.5eV,处于单结太阳能电池的理想带隙值,成本低且不含有毒元素,是理想的薄膜太阳能电池吸收层材料。因此开展CZTS薄膜材料和CZTS薄膜太阳能电池的研究具有重要的学术意义和应用价值。磁控溅射法具有可控性强,重复性好,制备薄膜均匀致密等优点,适合制备CZT金属预制膜。固态硫化CZT金属预制膜,对设备损伤和环境污染少,安全环保,是环境友好型的生产方式。因此本文采用磁控溅射制备的铜锡锌(CZT)金属预制膜,然后固态硫化预制膜制备CZT