【摘 要】
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伴随着科学技术的不断进步,等离子体广泛地应用于物理学、化学、生物学、医学、环境学、冶金化工等领域。随着时间的推移,等离子体相应的概念,应用都随之出现。直到现在,等离
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伴随着科学技术的不断进步,等离子体广泛地应用于物理学、化学、生物学、医学、环境学、冶金化工等领域。随着时间的推移,等离子体相应的概念,应用都随之出现。直到现在,等离子体已经有了自己的完整的体系,等离子温度的分析方法也日趋变化。其中,发射光谱法便是一种较好的分析方法。在过去,大量的实验对等离子体中的电子温度,电子密度进行了研究,然而等离子体的温度也是十分重要的,在对等离子体温度进行研究的过程中,将分子的转动温度视为等离子体的温度指标,这样,便可以测量等离子体的温度了。本文主要研究的是:通过小功率等离子体发生器尖端放电,产生氮等离子体的转动温度,并借用光谱拟合的手段得到气体分子的转动温度。本文介绍了等离子体的概念,其发生器的种类,发射光谱法的原理以及拟合氮等离子体转动温度的过程和方法。本文是对氮分子的第二正带系进行拟合,采用最小二乘法的原理,使一个变量等于实验测量的谱线强度与理论的谱线强度的差的平方和,不断地改变转动温度,进而得到一系列理论谱线强度值,当得到的变量为最小值时,此时理论的气体转动温度即为实验测得的转动温度。本文主要研究了不同的电压和气体流量对转动温度的影响,转动温度随着电压的增大而增大,当电压达到一定值时,转动温度有一个最大值,随着氮气流量的增大而增大。由于等离子体应用十分广泛,从光谱的角度去分析研究气体分子的转动温度具有实际意义。
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