微电子机械系统由于其优良的特性，在汽车工业中得到了大量的应用。随着纳米科技的发展，为了追求更小的体积，更好的操作性，更高的灵敏度，纳电子机械系统的研究和开发应运而生。纳米尺度一般指1-100纳米之间，该尺度下物体会表现出许多不同于宏观物体的现象如表面效应。表面的性质会受到表面缺陷的影响。在实际生活中，缺陷是普遍存在于材料表面的，但是关于缺陷是怎么影响偶极长度较小的固体极性表面的浸润性质这一问题还没有得到具体的解释。　　在本文中我们采用分子动力学模拟的方法研究了纳米尺度下偶极长度较小的固体极性表面的浸润性质。我们发现即使在1%的非常低的缺陷率下，固体极性表面上点缺陷的存在也能极大地影响水分子的浸润行为。在没有缺陷时，液滴在表面上的接触角是65°，随着缺陷率的增加，固体表面水层的覆盖率也在逐渐增加，该表面转变为超亲水表面。因为缺陷的存在打破了原先水分子和固体极性表面之间的空间位阻效应，水分子通过它们的氢原子和表面正空位缺陷附近的负电荷或者它们的氧原子和表面负空位缺陷附近的正电荷的静电相互作用牢牢地吸附在固体表面。即使表面的带电荷数在不断减少，表面与水分子的静电相互作用能也在持续增加,同样表明了该表面变得更加亲水了。　　本文的研究成果为车用微纳电子机械系统的制备及应用提供了理论依据，具有一定的参考价值。