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ZnO是一种纤锌矿结构的宽禁带半导体材料，具有优异的光电特性，而SiO_2是一种化学性质稳定的理想的光学透明介质。将纳米ZnO颗粒复合于SiO_2中，研究其微观结构特征和尺寸效应对发光特性的影响，对推进纳米ZnO材料的实际应用具有重要意义。本文采用脉冲激光沉积(PLD)的方法制备得到纳米ZnO-SiO_2复合薄膜，并分别通过改变SiO_2含量和热处理，详细研究了该复合薄膜的结构及其光学性质的变化规律；Zn_2SiO_4是ZnO和SiO_2的高温形成相，以其作为薄膜介质材料，探讨了稀土Eu~(3+)在