尖晶石型铁氧体是铁氧体发展史上的一类重要材料。近年来,尖晶石型铁氧体薄膜材料的制备、结构、性能和应用已经成为国际上新型薄膜材料研究的一个热点。尖晶石型铁氧体薄膜以其优异的磁学特性,良好的机械耐磨性和稳定的化学性能而成为颇具应用价值的材料引起人们的关注。本论文提出一种在单晶硅基体上由层状前体,经过焙烧、选择性溶蚀等工艺步骤制备多孔尖晶石型铁氧体薄膜的新方法。得到多孔铁氧体薄膜材料,我们对其结构、形貌以及性能等方面进行了研究。具体的研究内容和实验结果如下:1系列单晶硅基多孔MFe₂O₄薄膜制备我们利用静电吸附原理在充分磺化的单晶硅基体上生长制得厚度在微米级、表面平整且致密的水滑石前体薄膜;再经过高温下焙烧选择性溶蚀等工艺,得到多孔且孔径大小不一、晶型较好、晶相单一的MgFe₂O₄、NiFe₂O₄、ZnFe₂O₄系列多孔尖晶石型铁氧体薄膜。2系列前体薄膜、复合金属氧化物薄膜以及多孔MFe₂O₄薄膜的形貌、结构等变化规律的研究体系中水滑石前体薄膜,复合金属氧化物薄膜以及多孔MFe₂O₄薄膜均经过XRD、SEM、EDS和AFM等表征手段进行了详细的研究,而且我们对不同焙烧温度、不同金属离子配比对最终薄膜微结构的影响也进行了研究;结果表明每个步骤中均具有各自明显的结构特征衍射峰;XRD、SEM和AFM可以观察到,各个体系中不同配比薄膜中出现了明显的孔状结构,且孔径大小随着前体薄膜中配比（M/Fe）的增大而增大;同时通过对XRD数据发现:原始配比越大,最终薄膜中颗粒尺寸越小。3 Mg、Ni体系多孔薄膜的磁学、润湿性能的研究针对MgFe体系的多孔尖晶石型铁氧体薄膜,我们对其磁学方面的性能进行了常温、低温磁滞回线、ZFC-FC曲线分析研究发现:不同配比所得的多孔薄膜在常温下其表现出来的饱和磁化强度是有差异的,即原始Mg/Fe配比越大所得的多孔薄膜的饱和磁化强度越大;其中ZFC-FC曲线分析发现,两条曲线在Blocking温度T_B之上时相互吻合得较好,并且随着温度的升高单调下降,而当温度低于T_B时,两条曲线开始发生明显的分叉,表明薄膜具有超顺磁效应。针对NiFe体系的多孔尖晶石型铁氧体薄膜,我们对其润湿方面的性能进行了接触角分析研究发现:同样不同配比所得的多孔薄膜其表现出来的接触角是有差异的,影响薄膜润湿性存在两个方面的主要因素:薄膜中的纳微结构及其所修饰的有机单分子层量,即一方面在进行表面处理有机单分子层的过程中,对应相同薄膜面积,孔径越小的薄膜所能修饰的有机单分子层量会更多,另一方面孔径越小的薄膜上其液体的表观接触角会相应更大。