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接触式探头作为微纳米三坐标测量机的主要组成部分之一,按照结构可分为触发式和扫描式两类。论文简要介绍了国内外微纳米三维探头的发展现状,在此基础上提出并研制了具有高灵敏度的三维微纳米接触触发式和扫描式测量探头,并从原理和结构两个方面详细介绍这两种探头。两种探头都主要由弹性机构、三自由度光学传感器和调整结构三个部分组成。触发式与扫描式探头的弹性机构分别为单层簧片结构与双层簧片结构,建立了刚度模型,对两个探头的弹性模型进行了优化设计并得出了最佳结构参数,通过Solidworks simulation仿真和实