【摘 要】
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石墨烯是世界上第一种被制备出的二维材料，它的出现打破了二维材料不会实际存在的理论，同时引起了世界上科学家们的广泛关注。就石墨烯的制备方法而言，目前主要包括微机械剥离法、外延生长法、氧化还原法和化学气相淀积法等，它们有各自的优势与不足，本论文基于当前报道的关于石墨烯的相关研究成果，研究了石墨烯的等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）方法的低温制备，并对石墨烯嵌入到VOX-RRAM器件中的高阻态一致性
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石墨烯是世界上第一种被制备出的二维材料，它的出现打破了二维材料不会实际存在的理论，同时引起了世界上科学家们的广泛关注。就石墨烯的制备方法而言，目前主要包括微机械剥离法、外延生长法、氧化还原法和化学气相淀积法等，它们有各自的优势与不足，本论文基于当前报道的关于石墨烯的相关研究成果，研究了石墨烯的等离子体增强化学汽相沉积（PECVD）方法的低温制备，并对石墨烯嵌入到VOX-RRAM器件中的高阻态一致性和低功耗的性能做了研究。经调研发现，目前的制备法中除机械剥离法和化学法制备石墨烯，其它的方式都需
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