【摘 要】
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由于具有较高的输出功率和功率转换效率,大功率半导体激光器被广泛应用于泵浦固体激光器、激光加工、打印、光存储、光通讯及激光医疗等领域。功率、效率和可靠性是衡量半导体
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由于具有较高的输出功率和功率转换效率,大功率半导体激光器被广泛应用于泵浦固体激光器、激光加工、打印、光存储、光通讯及激光医疗等领域。功率、效率和可靠性是衡量半导体激光器性能的三个关键性指标。提高激光器的功率转换效率可以使激光器输入相同电流时输出更大的光功率,同时对于降低散热系统能耗、提高激光器光电特性、延长激光器寿命、提高可靠性以及节约运转费用有着非常重要的意义。效率的提高依赖于材料结构及其质量、芯片设计与器件制作工艺。
本课题基于器件的设计及其工艺的优化提高808nm大功率半导体激光器的功率转换效率。本文首先从理论上详细分析影响808nm大功率激光器效率的各个因素,然后以理论分析和计算机模拟为基础进行材料选择,波导层和包层使用AlGaAs材料,并且波导层采用大光腔结构,量子阱层使用AlGaInAs材料;在芯片制作方面,通过进行激光器的腔面反射率的设计,得出了最大的功率转换效率与腔长、腔面反射率的关系,选用了合适的腔面反射率进行腔面镀膜;在封装方面,鉴于微通道载体是目前解决连续工作大功率半导体激光器阵列散热问题的主要手段,因而采用微通道载体解决散热问题,通过计算机模拟,进行了微通道载体设计,同时对烧结工艺进行了优化。通过对808nm大功率激光器进行深入研究,最终研制的808nm大功率半导体激光器微通道阵列,连续工作状态下,最高功率超过100W,功率转换效率达到56.7%,实现了项目指标。
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