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随着科技的发展,人们对加工和测量的精度要求越来越高,亚微米到纳米精度的测量已经成为目前工业发展和科学发展中迫切需要解决的问题。激光外差干涉测量具有非接触损伤、信号噪声小、响应速度快、测量范围大、信噪比高、能够克服方向模糊且不受光强变化影响等优点,得到广泛的研究和应用。理论上推导了平衡式外差接收的数学模型,具体研究了平衡式外差接收系统的信噪比与光纤分束器分束比之间的关系,通过进行MATLAB数值仿真从理论上验证了平衡式外差接收在抑制本振噪声方面的技术优势。分析了光学扫描的基本原理及其对系统