【摘 要】
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MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems)微光机电系统是一个具有高效率、高表现以及低成本等特点的,非常具有吸引力的对于一般的光学问题的解决方案。Hochschule Furtwangen University已经开发了基于SOI (Silicon-On-Insulator)硅片技术的一个用于激光反射的一个微镜系统。对于这个已经实现的微镜系统来说,其基
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MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems)微光机电系统是一个具有高效率、高表现以及低成本等特点的,非常具有吸引力的对于一般的光学问题的解决方案。Hochschule Furtwangen University已经开发了基于SOI (Silicon-On-Insulator)硅片技术的一个用于激光反射的一个微镜系统。对于这个已经实现的微镜系统来说,其基本的技术参数为,当驱动电压为200V时,微镜镜面的旋转角度为±1.9mrad,约为±0.120。
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